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Contraintes et couches minces optiques

En parallèle de l’étude des propriétés optiques et spectrales de ces couches et empilements, des travaux théoriques et expérimentaux sont menés sur les conséquences de la présence de contraintes mécaniques dans les couches minces optiques et sur les déformations des substrats que celles-ci sont susceptibles d’induire.

Des premiers travaux ont permis de caractériser ces contraintes de manière extrêmement précises. En particulier, nous avons démontré une dépendance non-linéaire des contraintes en fonction de l’épaisseur des couches, mais également étudié les déformations linéaires et non-linéaires associées et ce grâce à une étude paramétrique basée sur une décomposition en polynômes de Zernike.
Des travaux complémentaires ont également permis d’identifier des méthodes génériques de compensation qui nous permettent à ce jour de contrôler la déformation résiduelle de la planéité après dépôt avec des précisions de l’ordre de quelques dizaines de nanomètres voire nanomètres.

La combinaison à la fois de la maîtrise des contraintes dans les dépôts associée à une optimisation des tenues au flux laser a ainsi permis par exemple de développer des miroirs hautes performances qui sont en cours d’intégration dans la chaine laser du projet ELI-NP.