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Contrôle optique in situ

Le dépôt d’empilements complexes à grand nombre de couches nécessite une gestion extrêmement précise (typiquement sub-nanométrique) de leurs épaisseurs. Ceci ne peut être obtenu qu’au travers de la mesure in situ de l’évolution de leurs propriétés optiques en cours de dépôt. Des appareillages spécifiques ont donc été développés et d’autres sont en cours de développement, et ce pour atteindre, in situ, des précisions de mesure au moins égales à celles que permettent d’atteindre, ex situ, les meilleurs spectrophotomètres du commerce. La conception de ces appareils fait massivement appel à des composants innovants, tels que lampes à arc pompées par diodes lasers, fibres à cœur carré, harnais optique de transport et de répartition des flux, brouilleurs de speckle, détecteurs faible bruit, spectrophotomètres à barrettes de photodiodes,… De nouvelles méthodes de traitement de signaux spectralement et temporellement résolus ont ainsi permis d’extraire de manière nouvelle et sans modèles de dispersion, les dépendances spectrales des parties réelles et imaginaires des couches fabriquées.