Dans le cadre d’un projet de recherche et technologie (R&T) financé par le Centre National d’Études Spatiales (CNES), l’équipe RCMO s’intéresse au développement de filtres passe-bande dans le proche ultraviolet pour des applications LIDAR. L’objectif de ce projet consiste à réaliser un filtre à bande très étroite centré à 355 nm et présentant une transmission uniforme et élevée sur un domaine spectral de 0.1 nm avec une rejection égale à OD5 à 0.5 nm de part et d’autre de la longueur d’onde de centrage. Le développement de ce type de composant requiert d’une part une maîtrise parfaite des pertes des matériaux utilisés (HfO2/SiO2) pour le filtre mais également un contrôle extrêmement précis de l’épaisseur de chacune des couches. Lors d’une première phase, l’équipe RCMO a développé, sur la machine Bühler HELIOS, des paramètres de dépôt des matériaux compatibles avec la réalisation d’un filtre ayant les performances spécifiées (T > 80%). Une étude à la fois sur la synthèse des filtres mais également sur les techniques de contrôle optique a permis de démontrer de premiers prototypes ayant des performances qui se rapprochent de celles spécifiées décrites précédemment.
Une nouvelle phase du projet débute et devrait permettre à terme de lever les derniers verrous technologiques et fournir au CNES de premiers prototypes répondant au cahier des charges.
Financeurs : CNES
Contacts : Frédéric Lemarquis / Julien Lumeau
