Dans le cadre de plusieurs projets de recherche et technologie (R&T) financés par le Centre National d’Etudes Spatiales (CNES), l’équipe RCMO a développé une technologie de fabrication de filtres variables basée sur la machine Bühler HELIOS (pulvérisation cathodique magnétron assistée par plasma). Cette technologie repose sur l’emploi de masque de gradient permettant de localement contrôler l’épaisseur déposée suivant une des directions du substrat sur lequel le filtre est déposé. Du fait de la grande stabilité des conditions de dépôt fournie par la machine et du contrôle précis des épaisseurs déposées par les techniques de contrôle optique in-situ, il est possible de réaliser des empilements complexes variables avec des performances similaires à celles obtenues avec des filtres uniformes.
Une première phase de ce projet visant à développer des filtres pour la bande de sensibilité des détecteurs silicium (400-1100 nm) a permis d’éprouver la technologie et de réaliser des premiers prototypes. Elle a aussi permis de démontrer que la forme du gradient pouvait être contrôlée (linéaire ou non-linéaire) et de quantifier les limites de la méthode. Une nouvelle phase en cours devrait permettre de démontrer que cette technologie peut être appliquée à d’autres domaines spectraux et en particulier à la bande 900-2500 nm. L’objectif final de ces études est de fournir aux agences spatiales des filtres à très hautes performances qui pourront être intégrés sur des imageurs pour la réalisation de spectro-imageurs compactes.
Collaborateurs : Bühler/Leybold Optics
Financeurs : CNES
Contacts : Frédéric Lemarquis/Julien Lumeau
