FIRST - Far field Intensity for the Recovery of Surface Topography
On a pu constater à ce stade que la topographie de surface n’est ici jamais restituée, puisque l’on se contente du premier moment de la rugosité (spectre de rugosité & fonction d’autocorrélation). Si ces données sont entièrement suffisantes pour les application citées précédemment, il serait malgré extrêmement bénéfique d’avoir accès à la « topographie proprement dite » à partir de mesures de diffusion en champ (...)

OLCR - Optical Low Coherence Reflectometry and Back Scatterometry
Les systèmes précédents analysent la lumière diffusée dans « tout le domaine angulaire » à l’exception des directions spéculaires (réflexion et transmission), ce qui est conforme à la très grande majorité des applications. Il existe cependant des exceptions, dont une de taille liée aux projets dans le domaine des composants pour la détection des ondes gravitationnelles. En effet pour le projet LISA par exemple, c’est bien (...)

Spectral and Angular Light Scattering characterization Apparatus
Nous avons déjà souligné une difficulté intervenant de façon récurrente dans ces problèmes de lumière parasite, qui concerne la dispersion spectrale (ou fréquentielle) de la rugosité. Comme toute grandeur physique, cette dispersion est liée à la fenêtre fréquentielle de l’application, qui est limitée globalement par l’inverse de la longueur d’onde. Ainsi par exemple une valeur de rugosité mesurée dans le visible ne peut pas (...)

SPARSE - SPAtially Resolved Scatterometry Equipment
L’instrument SPARSE que nous avons développé est inédit et répond à un problème récurrent qui consiste à séparer, dans les valeurs mesurées de rugosités, la contribution de la rugosité intrinsèque (topographie continue et dérivable) de celle liées aux défauts isolés (piqûres, rayures, poussières). Cette séparation est majeure pour qualifier les procédés de polissage, comprendre les phénomènes d’absorption et d’endommagement sous flux, (...)