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Bühler SYRUSpro 710

Dans le cadre d’un financement de la ville de Marseille, l’équipe Couches Minces Optiques de l’Institut Fresnel vient d’installer, au sein de la plateforme technologie AMU de l’Espace Photonique, une nouvelle machine de dépôt par évaporation assistée par plasma (Bühler SYRUSpro 710). Cette machine vient compléter le parc de machine de pointes déjà existant (e.g. Bühler HELIOS et Bühler SYRUSpro 710) et permettra de diversifier la champ d’applications des composants à base de couches minces optiques. Cette machine sera dédiée au dépôt de couches minces de matériaux transparents dans l’infrarouge et au développement de couches à base de matériaux non conventionnels tels que des matériaux à changement de phase (e.g. chalcogénures). Elle nous permettra notamment de développer des antireflets large-bande [1.5-15] µm (projet R&T CNES), des composants structurés en volume (thèse DGA) ou des métasurfaces optiques (thèse CIFRE Multiwave).

Contact RCMO Team : Julien Lumeau

Contact Ville de Marseille : Christophe VOLPE, Chef de projet Immobilier d’Entreprises et Enseignement Supérieur Recherche - www.marseille.fr