P
ROPRIÉTÉS
DES
MODES
OPTIQUES
DANS
LES
MICROCAVITÉS
FABRY
PÉROT
À
CRISTAUX
PHOTONIQUES
INTEGRÉES
SUR
GUIDE
D
'
ONDE
EN
SILICIUM
SUR
ISOLANT
Benoît Cluzel
, Emmanuel Picard, Thomas Charvolin, Emmanuel Hadji
Laboratoire Silicium Nanoélectronique Photonique et Structure, CEA Grenoble - 17, rue des Martyrs
38054 Grenoble Cedex
Davy Gérard, Frédérique de Fornel
Laboratoire de Physique de l'Université de Bourgogne UMR 5027, 9 Avenue Alain Savary,
BP47870, 21078 Dijon Cedex
Christophe Sauvan, Philippe Lalanne
Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique - UMR 8501 - Centre scientifique d'Orsay Bât 503
91403 ORSAY
Dans le cadre du développement d'une photonique silicium pour les interconnexions optiques en
microélectronique, nous étudions des composants passifs à cristaux photoniques en silicium sur
isolant. Nous nous intéressons plus particulièrement à des cavités intégrées sur guide d'onde (figure
1), celles-ci pouvant constituer dans un proche avenir les briques de base pour les applications
recherchées : source, modulateur, détecteur.
Figure
1
Observation MEB d'une
microcavité à cristal photonique intégrée
sur guide d'onde SOI.
Les structures étudiées sont réalisées à l'aide
des technologies silicium issues de la
microélectronique : lithographie optique,
électronique et gravure sèche. Les composants
sont ensuite caractérisés par spectroscopie en
transmission, cette technique permettant
d'identifier les propriétés spectrales des
cristaux photoniques: bande interdite
photonique, résonance de cavité. De plus afin
de mieux comprendre les mécanismes mis en
jeu dans nos échantillons, nous réalisons des
cartographies de distribution de champ dans
nos composants à l'aide d'un microscope en
champ proche optique couplé au montage de
spectroscopie en transmission.
Figure 2 Vue schématique des mesures optiques réalisées pour étudier les propriétés des
microcavités.
cluzel@drfmc.ceng.cea.fr
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