Fondés sur ce principe, des réflecteurs large bande 1D et 2D (réseau carré) ont été fabriqués. La structure de
bande calculée montre deux modes, situés de part et d'autre de 1.5 µm. Les résultats expérimentaux ont confirmé une
largeur spectrale de réflexion importante. Pour le réseau 2D, les paramètres ont été volontairement choisis de sorte
que le recouvrement ne soit pas optimal, pour mettre en évidence la présence des deux modes (cf figure 2). La figure
2 confirme également la validité du modèle développé, en comparant les résultats obtenus avec le modèle à ceux
obtenus par RCWA (Rigourous Coupled Wave Analysis).
Fig.2 : spectre de réflexion calculé pour un réflecteur large bande 1D (FDTD), spectre de caractérisation
(1D en traits pleins, 2D en pointillés), et comparaison avec le modèle développé à partir de la théorie des modes
couplés (réseau 1D).
En associant ce principe avec les technologies MOEMS InP/Air, nous pouvons développer des composants
innovants dans le domaine de la microphotonique 2,5D. Par exemple, le couplage de deux réflecteurs dont l'un au
moins est basé sur ce principe permet de concevoir des filtres accordables en longueur d'onde. Le premier design
proposé est composé d'un réflecteur CP1D supérieur et d'un miroir de Bragg (3 alternances InP/air) inférieur,
séparés par une cavité résonnante d'air (cf figure 3). L'accordabilité est obtenue en modifiant l'épaisseur du gap
d'air, par actuation électrostatique. Le cristal photonique et le miroir de Bragg se comportent tous deux comme des
réflecteurs large bande
, le cristal photonique permettant en outre un meilleur confinement latéral des photons, et
donc une plus grande durés de vie des photons dans la cavité. Les simulations prévoient donc une grande sélectivité
et une grande accordablité (Q=
/
8OOO sur une gamme de 100nm).
Le deuxième design envisagé est constitué « simplement »de deux réflecteurs à cristaux photoniques séparés
par une cavité d'air. Le but est de réduire la taille verticale du filtre, et de s'affranchir des pertes latérales du miroir
de Bragg en le remplaçant par un cristal photonique (cf figure 3). Ces deux filtres sont en cours de fabrication à partir
d'hétérostructures InP (couches structurelles)/InGaAs (couches sacrificielles) réalisées par épitaxie.
Fig.3 : Exemples de filtres accordables en longueur d'onde utilisant des cristaux photoniques, qui jouent le rôle de
réflecteurs large bande tout en assurant le confinement latéral des photons.
37