Banc de mesure locale R&T

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Le développement de ce banc spécifique a été effectué dans le cadre des travaux de thèse de Laetitia Abel-Tiberini (Bourse MEN 2002-2005) et a rendu possible tout d’abord la détermination des paramètres géométriques de la plume d’évaporation de l’un de nos bâtis d’évaporation, puis la caractérisation et l’optimisation de l’uniformité de filtres à bande étroite, et enfin le développement et le contrôle de filtres linéairement variables.

Banc de mesure locale R&T

La disponibilité de ce banc a rendu possible la réalisation d’une cartographie de l’épaisseur de matière déposée sur un substrat fixe de grandes dimensions placé à l’intérieur de notre bâti DIBS (Dual Ion Beam Sputtering). Nous avons pu ainsi déterminer les principales caractéristiques de l’indicatrice d’évaporation de deux matériaux (Silice et Tantale) et mettre en évidence l’influence de l’énergie de pulvérisation sur la direction principale de cette plume (normale à la cible pour le Tantale, de type spéculaire pour la silice). La connaissance de ces paramètres constitue un point clef de la réalisation de filtres à très grande uniformité spatiale ou de filtres à profil spatial maîtrisé, tels que les filtres linéairement variables.

Cartographie d’épaisseur optique d’une monocouche de dioxyde d’hafnium