Matériaux photosensibles

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Matériaux photosensibles
L’objectif de nos recherches dans le domaine des matériaux photosensibles est de rendre possible, en particulier au niveau des filtres bande étroite, une opération de type laser trimming, c’est-à-dire un ajustement, a posteriori et par procédé laser, de la valeur de la longueur d’onde de centrage de ces filtres. Cet ajustement serait dans son principe analogue à celui que l’industrie des semi-conducteurs met en œuvre sur les résistances ou les capacités à films entrant en jeu dans la constitution des circuits oscillants de très grande précision, ce qui explique la désignation (laser trimming) utilisée.

Il deviendrait ainsi possible de réaliser des filtres à bande étroite ultra-homogènes (c’est-à-dire dont la longueur d’onde centrale serait identique à une valeur donnée sur la totalité de la surface du composant) ou des filtres variables dits « en marches d’escalier » (c’est-à-dire des filtres dont les variations spatiales de la longueur d’onde centrale présenterait, dans une direction donnée de l’espace, une succession de paliers de valeurs régulièrement croissantes.)

Ces études ont nécessité le développement d’un banc de caractérisation permettant de réaliser à la fois une cartographie absolue de l’épaisseur optique d’une lame transparente avec une précision meilleure que le nanomètre et l’enregistrement de la dépendance spatiale de la longueur d’onde centrale d’un filtre à bande étroite (résolution spectrale du picomètre, résolution spatiale ajustable entre 100 microns et 1 mm).

Banc de caractérisation de la photosensibilité

Cartographie d’épaisseur optique d’une lame de silice

Réponse photosensible d’une lame de silice dopée germanium