Couches minces optiques

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Filtres optiques interférentiels complexes

En se basant sur les méthodes de design développées en interne, l’équipe RCMO est alors en mesure de réaliser des composants à très grandes complexités comme par exemple des de filtres passe bande à performances ultimes. Ces composants sont réalisés à l’aide de la machine Bühler HELIOS associée à un contrôle optique de type OMS 5000.

L’équipe RCMO a ainsi développé un ensemble d’empilements à grand nombre de couches (plus d’une centaine par face) et forte épaisseur totale (jusqu’à 25 microns et plus) qui satisfont les contraintes particulières de certaines applications spatiales (profil rectangulaire et réjection large bande). Un grand nombre de filtres respectant de tels critères ont été réalisés (projets TARANIS, 3MI, IDEFIX…) par pulvérisation cathodique magnétron assistée, avec des écarts entre courbes expérimentales et prédictions théoriques qui n’excèdent pas quelques pourcents sur des étendues spectrales pouvant atteindre 3 octaves.

A l’aide de la machine HELIOS, d’autres composants à grande complexité ont également été développés tels que des miroirs à hautes réflectivité (> 99.95%) à 515 nm, incidence oblique (25°) et polarisation s et p ou des polariseurs à 1.5 µm. A ce jour, les compétences acquises sur cette machine, aussi bien en termes de contrôle des dépôts que de prise en compte des biais et dérives du systèmes, permettent d’envisager la réalisation de composants à complexité continuellement croissante.