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Moyens Expérimentaux

La problématique de l’endommagement laser est le sujet principal de recherche de l’équipe et nos moyens expérimentaux permettent de couvrir un très large domaine spectral et temporel. Les caractéristiques des différents bancs de tests dont nous disposons sont décrites dans le tableau ci-dessous :

Bancs de tests de tenue au flux laser

sub-picoseconde Régime nanoseconde CW
1030/515/343nm 1064/532/355/266nm ; 600-900nm ; 2-5µm 1064/532/355/266nm 1064nm 1064nm 800nm
450-3ps 12ns, SLM 12ns, SLM 6ns
10Hz-100kHz 10Hz 100Hz 20Hz
1mJ max / impulsion 1.5J max / impulsion 800mJ max / impulsion 50mJ max / impulsion 200W
Descriptif
Tests automatisés en mode 1on1, Son1, Ron1
Possibilité de tests : sous vide, en incidence variable, à une fluence de consigne fixe,...

Tests automatisés en mode 1on1, Son1, Ron1
Possibilité de tests : sous vide, en incidence variable, à une fluence de consigne fixe...

Différents systèmes commerciaux ou développés dans l’équipe permettent de caractériser les matériaux et composants optiques avant/après irradiation laser :

Diagnostics non-detsructifs

Microscope confocal MEB Microscopes Nomarski Polariscope Banc de photothermie Mesures de pertes Luminescence indice non-linéaire
Réflection et Luminescence Mesures de contraintes Mesures d’absorption à 244, 355, 488nm Mesures de pertes optiques (absorption, diffusion) à 1064/532/355nm Luminescence résolue en temps (ns), excitation à 355/266nm banc de Z-scan

Plusieurs bancs sont consacrés à la mise en pratique de l’interaction laser matière pour des applications optiques ou microélectroniques.

Banc de stabilisation laser Banc de gravure laser fs
Stabilisation de dommages sur la silice par irradiation laser CO2 Ablation laser par irradiation femtoseconde (tête de gravure galvanométrique)

Procédés lasers