| |
 |
 /rcmo/rcmo_equipements
|
RCMO
RCMO
Recherche en matériaux, technologies et composants
de Couches Minces Optiques
Equipements
IAD - Evaporation assistée par faisceau d’ions
RLVIP - Dépôt assisté par plasma
(principe)
RLVIP - Dépôt assisté par plasma (intérieur du bâti)
DIBS -
Pulvérisation ionique assistée par faisceau d’ions
DIBS -
Pulvérisation ionique assistée par faisceau d’ions
(Vue d’ensemble
de la machine)
Appareillages de mesure
Analyseur Optique de Spectre ANDO AQ 6315 A
Lambdamètre COHERENT
Profilomètre TALYSURF Taylor&Hobson
Permanents : Cihan Koc , Frederic Lemarquis , Michel Lequime , Fabien Lemarchand , Laetitia Abel , Dragan Stojcevski , Christophe Hecquet ,
Doctorants : Marie Duchene , Marie-maude Denus-baillargeon , Stephane Sorce , Lihong Gao , |
|
