[Fresnel]

Responsables

G. Albrand
et M. Lequime


Fabrication de filtres optiques

Thèmes Généraux

Couches Minces Optiques

Filtres Interférentiels Multicouches

Metal/Dielectrique

filtres à cavités substrats (OIC 2004)

Synthèse d'empilements
(OIC 2004)

Caractérisations Optiques (OIC 2004)

Matériaux pour le V-UV, NIR, et FIR

Techniques de Dépôt sous vide avec Assistance Ionique et Plasma

Multiplexage Dense en Longueur d'onde

Filtres optiques Accordables

Chercheurs
&Enseignants-Chercheurs


C. Amra, DR, CNRS (25%)
F. Lemarchand, MCF, ENSPM
F. Lemarquis, MCF, ENSPM
M. Lequime,Professeur, ENSPM
Ph. Torchio, MCF, UIII



Personnels IATOS/ITA

P. Bentoza, SAR, CNRS (33%)
M. Juarez, ADT, LOSCM (33%)
G. Albrand, IR, CNRS
M. Cathelinaud, IR, CNRS
C.Kok, CNRS

G. Marchand, AI, CNRS
L.Roussel, IE, CNRS
J-P. Spinelli, TCE, ENSPM


Doctorant

J. Lumeau
(CNRS/Région)
J.Floriot (CIFRE)
L.Abel(MENSR)

         

R.C.M.O.

Recherche en matériaux, technologie et composants de Couches Minces Optiques

 

L'équipe "Couches Minces Optiques" se doit de pouvoir maîtriser environ une vingtaine de matériaux diélectriques ou métalliques en couches minces pour couvrir un domaine d'applications allant de l'UV (190 nm) jusqu'au moyen infra-rouge (16 µm). Sa vocation première consiste à "inventer" et améliorer les moyens théoriques, expérimentaux et technologiques pour répondre à tout nouveau problème de filtrage optique, en tenant compte des caractéristiques mécanique, thermique, "climatique" ou de vieillissement, d'endommagement sous flux lumineux, particulaire ou sous plasma… Précisons également que ces études doivent, chaque fois que le contexte le requiert, déboucher sur un composant finalisé et destiné à être intégré dans un ensemble plus complexe, de sorte que l'aspect "système" est également pris en compte, de même que les opérations du type "transfert de technologie".

Les problèmes de synthèse de filtres à partir de séquences alternées pour constituer un système interférentiel multicouche demeurent d'actualité, en particulier si l'on veut s'affranchir de toute "solution de départ". Des méthodes analytiques directes ou numériques inverses, sur la base d'incréments déterministes ou aléatoires, dans le plan réel ou de Fourier, sont couramment explorées dans ce but. Les mêmes techniques sont développées pour la synthèse en espace modal, où les extrémités de fibres optiques et guides plans multicouches sont concernés.

Les technologies de réalisation font appel aux techniques du vide et à l'évaporation réactive par canon à électrons. Ces technologies bénéficient également de l'assistance ionique, qui permet d'obtenir des matériaux en couches minces amorphes avec des propriétés passives (densité, dureté, paramètres optiques et thermiques…) quasiment identiques à celles du matériau massif.
D'autres techniques comme la pulvérisation ionique peuvent remplacer l'évaporation, selon l'objectif visé… L'élaboration de ces matériaux constitue un processus complexe, en particulier pour réduire les pertes optiques par diffusion et absorption à des niveaux inférieurs à 10-5, ou pour maîtriser les phénomènes de claquage sous flux intense, d'adhérence ou de contrainte mécanique…

De façon générale, la plupart des problèmes de filtrage sont aujourd'hui "large-bande", ce qui accroît la complexité des empilements pouvant présenter plus de 100 couches minces transparentes et (ou) semi-conductrices, d'épaisseurs indépendantes et précises à quelques millièmes près.
Dans ces conditions, le contrôle in situ de la formation des systèmes interférentiels, ou de l'uniformité des flux de matière, devient crucial, de sorte que des techniques spécifiques sont développées dans ce but (automatisation complète des processus à l'aide de contrôle optique polychromatique et séquentiel hors de l'axe de rotation, mise en vibration des flux de matière émise…). En particulier, nous sommes directement concernés et impliqués par l'explosion du besoin en télécommunications, par l'intermédiaire de filtres interférentiels étroits DWDM (Dense Wavelength
Division Multiplexing) présentant des bandes passantes de l'ordre de l'Angström dans le P.I.R.. On imagine aisément le saut technologique à franchir pour être compétitif dans ce domaine…

Enfin, nous avons l'ambition d'étendre nos compétences au cas de systèmes interférentiels ajustables et (ou) accordables, en mettant en oeuvre des techniques d'élaboration de matériaux actifs en couches minces. Ceci constitue évidemment un point capital pour un grand nombre d'applications (filtres télécom. accordables, matériaux luminescents et composants optroniques innovants, protection laser…).

Pour conclure, on doit souligner le fait que l'équipe intervient également, activement et quotidiennement, sur un grand nombre de thématiques du laboratoire, comme l'endommagement laser et les effets non linéaires, les micro-cavités luminescentes, les filtre anisotropes et les guides d'onde, les réseaux… Le maintien d'une technologie de haut niveau, avec quatre unités d'élaboration de matériaux, et de nombreux outils de caractérisation, constitue ainsi une clé de voûte qui permet d'initier, concrétiser ou infirmer un grand nombre d'idées nouvelles au sein du laboratoire et de notre communauté scientifique en général.

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